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台湾奕叶探针台(EVERBEING)EB系列

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型号:奕叶探针台EB系列
品牌:奕叶探针台
特色: 台湾奕叶EB系列探针台同轴旋钮,可单手同时操作卡盘XY轴移动,样品可快速移动到指定位置进行量测
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EB系列高性价比探针台

 

 图片3.png

 

显微镜操控规格

 

显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm。

 显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度10μm。

 

二、台面规格

 

探针台台面平整度:5μm。

 探针台台面为固定台面。

 

三、卡盘(载物台,即图中的chuck)规格

 

 6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径 250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"。

卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋钮。

卡盘座有小摇杆,提起90度后,可以使卡盘快速线性上升4mm,在做wafer点测时方便快速移动点测位置,同时做普通die或者decap后芯片点测时,方便快速更换样品。

卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为10μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能如果点测6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到。

 

四、性能

 

真空吸附卡盘:对应可选4" ,6",8",12"产品

卡盘X-Y方向精确线性移动行程:6"-6"

线性无回差调节

卡盘上/下移动行程:4mm

4", 6", 8", 12" 晶圆 (晶圆尺寸)

样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

卡盘平整度: 10um

卡盘旋转角度:0~360°

 

五、附件

 

显微镜倾仰装置

镀金卡盘

射频测试探头/电缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

激光修复

CCD/数字相机,USB接口

探针卡/封装/PCB板夹具

加热装置

防震桌

屏蔽箱



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