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台湾奕叶探针台(EVERBEING)BD系列

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型号:奕叶探针台BD系列
品牌:台湾奕叶

特色:
 台湾奕叶EB系列探针台高精度大旋钮探针台,可兼顾直流和射频应用,针座平台可上下升降,加装探针卡使用


BD系列豪华探针台

 

奕叶探针台BD系列-2.png

 

一、显微镜操控规格:

 

 

在探针台右侧有大摇杆,提起90度后,可以使显微镜快速倾仰抬起,方便在测试时更换物镜镜头

显微镜后侧有X/Y轴调节小摇轮,可调节显微镜在x-y方向的移动,移动范围2"X2",精度1μm

显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮,粗旋钮方便快速调焦,细旋钮方便精确调焦,使显微镜在Z轴方向行程50.8mm,移动精度1μm


二、台面规格:

 

 

探针台台面平整度:5μm

探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择

探针台右上方有转轮摇杆,摇动时可使台面线性上下升降,升降范围25mm,精度1μm。在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的复位


 

三、卡盘(载物台,即图中的chuck)规格:

 

 

6" 卡盘,卡盘平整度:5μm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径250μm-1mm(可根据客户需求定制孔径大小),最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为6"X6"

卡盘可360度旋转,旋转角度可微调,微调精度为0.1度,带角度锁定旋

 

卡盘X,Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动,移动范围为6"X6",移动精度为1μm,为方便点测的稳定性,带有锁住功能。如果点测6"wafer的时候,可以保证6"wafer的每一点都能够点测到

 

四、总体规格:

 

      重量:50kg(含显微镜)

尺寸:590mm宽*500mm长*700mm高(含显微镜)

优化的人体工学设计,便于工程师长时间舒适的操作

 

五、性能

 

 

镀金真空吸附卡盘: 对应可选4" ,6",8",12"产品

大旋钮移动卡盘台,X-Y方向行程:6"-6"

卡盘快速拉出装置便于放置/拿去样品

线性无回差调节

台面快速升/降行程:6mm,精调升/降行程:25mm

样品尺寸: 5x5mm ~ 4" 6", 8", 12"

卡盘平整度: 10um

卡盘旋转角度:0~360°

Chuck Theta: ±15

大旋钮滑台X-Y方向精度: 1um

台面上/下升降摇杆/旋钮

显微镜倾仰装置

 

六、附件

 

显微镜倾仰装置

射频测试探头/电缆

有源探头

低电流/电容测试

高压测试

激光修复

CCD/数字相机,USB接口

探针卡/封装/PCB板夹具

加热装置

防震桌

屏蔽箱

显微镜暗场/Normarski 检测

 

    

 


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